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中瑞祥便攜式熱偶真空計 真空測試儀原理操作步驟
瀏覽次數(shù):122發(fā)布日期:2025/11/27
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中瑞祥便攜式熱偶真空計 真空測試儀原理操作步驟

是一種基于氣體熱導率與壓力關系的真空測量儀器,通過檢測加熱絲溫度變化間接反映真空度。以下是其核心原理和操作要點:

工作原理

?熱傳導特性?:氣體分子的熱導率與壓力成正比。當壓力降低時,氣體導熱減少,加熱絲溫度升高,熱電偶輸出的電勢隨之增大。 ?

?溫度-電勢轉(zhuǎn)換?:加熱絲通以恒定電流,其溫度由周圍氣體壓力決定。熱電偶將溫度變化轉(zhuǎn)化為電勢信號,通過毫伏表或數(shù)字顯示轉(zhuǎn)換為壓力值。 ?

操作步驟

?預熱與校準?

連接規(guī)管后,預熱10分鐘,確保系統(tǒng)穩(wěn)定。 ?

調(diào)節(jié)加熱電流至規(guī)定值(通常標注在規(guī)管或說明書上),使指針滿度并持續(xù)1分鐘。 ?

?測量模式切換?

將“熱偶選擇"開關置于“測量"位置,重復測定三次以提高準確性。 ?

?注意事項?

量程范圍:通常為0.1Pa1000Pa,需在不同氣體下標定(因氣體導熱性差異)。 ?

避免在氧化性或腐蝕性氣體中使用,以防熱絲氧化或損壞。 ?

適用場景

適用于低真空至中真空環(huán)境(1~300Pa),常用于真空鍍膜、半導體制造等工藝的真空度監(jiān)控。


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